精密微电子净化车间解决方案:
精密微电子净化车间目前已是半导体、精密电子元件、液晶制造、光学仪器制造、线路板制造和手机、计算机等行业不可或缺的重要设施,净化工程的设计过程中,应加强对微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程,并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再根据该工程的具体情况,同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力,综合各种因素来确定采用何种净化方案,这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。
而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于领先地位。
精密微电子净化工程一般包括:
1)洁净生产区
2)洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)风淋室
3)管理区(包括办公、值班、管理和休息等)
4)设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)
精密微电子净化工程净化参数:
●换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。压差:主车间对相邻房间≥5Pa
●平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度 冬季>16℃;夏季<26℃;波动±2℃。
●温度:45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。
●噪声:≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。
精密微电子净化工程净化原理:气流→初效空气过滤器净化→空调→中效空气过滤器净化→风机送风→管道→高效空气过滤器净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒→ 回风百叶窗→初效空气过滤器净化 重复以上过程,即可达到净化目的。